上海新阳：已有ArF光刻胶产品，但因疫情等因素致认证进度较慢

3 月 16 日，上海新阳在投资者互动平台表示，针对 Arf 光刻胶最新进度的问题作出回应，称近期公司已有 ArF 光刻胶产品，受疫情及客户产线情况等各类因素影响导致认证进度较慢，但公司已有部分光刻胶产品取得客户订单。

另外，上海新阳针对公司生产的 krf 光刻胶品质与销量也做出回应，其称公司生产的 KrF 光刻胶已经拿到部分晶圆制造客户订单，并表示目前光刻胶订单在上海生产，还未大规模量产。上海新阳的营业利润，利润总额和归属于上市公司股东的净利润较上年同期分别上升了44695%，9500.09%，3059.82%。

资料显示，上海新阳目前主要从事两类业务:一类是集成电路制造及先进封装用关键工艺材料及配套设备的研发，生产，销售和服务，并为客户提供整体化解决方案，另一类是环保型，功能性涂料的研发，生产及相关服务业务，并为客户提供专业的整体涂装业务解决方案其主要产品是半导体晶圆制造及先进封装用电镀液及添加剂，半导体晶圆制造用清洗剂，半导体封装用电子化学材料，半导体制造用高端光刻胶产品，半导体配套设备产品

上海新阳迄今承担国家 02 专项研发项目有:65—45nm 芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发和产业化，20—14nm 先导产品工艺开发项目任务课题高速自动电镀线研发与产业项目，铜互连电镀工艺技术及产品的研发等。。